無錫不銹鋼板5月30日訊 該技術采用磁控濺射在不銹鋼基底上沉積鈦膜，并考察其相關性質及影響因數，確定合適的條件參數，制得膜厚、附著力等性能都較好的薄膜，進而為工業化大規模采用濺射制備薄膜材料提供參考數據。這項技術已經完成了等離子體濺射爐的研制工作，設計并獲得了鋼材表面鍍鈦膜的等離子體濺射爐;完成鋼材表面等離子體濺射沉積鍍鈦膜的工藝條件摸索，通過摸索，獲得了設備的基本性能。

      研究了不同工藝參數對鋼鈦復合材料性能的影響;研究了較優工藝參數對鋼鈦復合材料性能的影響;在固定其他工藝條件的前提下，對在鋼材表面等離子體鍍鈦膜的各種工藝條件進行了優選實驗，獲得了各工藝的較優值，這些工藝條件分別是：氬氣流量為 20m l/m in、功率 112W、真空度 1.0Pa、鍍膜時間 100m in、偏壓 150V、靶距 35m m。

      在上述已優化出來的較優工藝條件下進行綜合實驗，研究在較優工藝條件下制成產品表面及斷面形貌，并對其耐腐蝕性能和鈦膜在基材上的附著力進行表征，結果發現制成的鈦膜鍍層的耐腐蝕性、表面裝飾性和附著力均達到預定目標，可以滿足工程需要。

      目前國際上雖然有采用等離子體制備鈦合金薄膜的研究報道，但未見在真空條件下等離子體濺射鍍鈦制備鈦膜不銹鋼復合材料的研究報道，因此該方法屬首創。由于鍍鈦不銹鋼復合材料在科技、國防和社會生活等方面的巨大應用前景，以及該項目成果與傳統生產方式相比所具有的巨大優勢，使該項目具有廣泛的應用前景。該技術屬于國內先進水平，限國內轉讓。

      寶鈦集團有限公司副總經理張延東點評：該技術采用磁控濺射在不銹鋼基底上沉積鈦膜，通過研究確定合適的條件參數，制得膜厚、附著力等性能都較好的鈦薄膜。該成果完成了等離子體濺射爐的研制工作 ,研究了不同工藝參數對鋼鈦復合材料性能的影響 ,對在鋼材表面等離子體鍍鈦膜的各種工藝條件進行了優選實驗，獲取了最佳工藝值;并最終制造了耐腐蝕性、表面裝飾性和附著力均達到預定目標的鈦鍍膜層。該技術屬于國內先進水平，建議推廣運用。

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